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半導體芯片廠對空氣過濾器有哪些要求

　　當今，半導體芯片廠對生產環(huán)境空氣潔凈度最挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
　　衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”，即集成電路上導線的寬度。在線寬以微米計算的年代，制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13μm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較過時了。
　　芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是“大循環(huán)”，車間的整個天花板上布滿無隔板高效過濾器，整個地面為回風柵板?，F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風機的高效過濾裝置（FFU，F(xiàn)anFilter Units）。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
　　能擠進芯片廠的高效過濾器和FFU都要經過逐臺掃描測試。芯片廠認為，傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
　　空氣中的海鹽離子是所有電子工業(yè)的大敵，但海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過濾器就能將其清除。有人說電子工業(yè)的理想地點應該遠離海岸，可國內芯片廠就建在了經濟發(fā)達的沿海地區(qū)，在過濾器上多花點錢就是了。
　　芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發(fā)物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子，少了個隱患，多了個麻煩。目前PTEE高效濾材的價格偏高，絕大部分高效過濾器仍使用傳統(tǒng)的玻纖濾紙。高效過濾器上可能的揮發(fā)物主要來源于制造過程中使用的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料、為芯片廠供貨的過濾器廠商要在避免微量揮發(fā)物上下些功夫。
　　但當芯片的線寬小到0.5μm時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯片廠空調系統(tǒng)中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。
　　化學污染物的來源有：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下，設計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是最傳統(tǒng)的、最便宜的、微孔尺寸大小不均的顆?；钚蕴?。如果能確定污染物種類，就可對吸附材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現(xiàn)場檢測服務，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的專家，并與權威實驗室有密切的關系。遺憾的是國內過濾廠商沒有幾家在那上面下功夫，所以國內芯片廠目前使用的化學過濾器多數(shù)是進口產品。
　　半導體工業(yè)并非“無煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問題。那里經常采用最新的工藝和材料，有些化學物品在其安全性尚未得到評估前就已經大量使用了。為降低環(huán)境風險，有些芯片廠的排風系統(tǒng)也裝有化學過濾器。

文章來源空調過濾網:http://m.fjdsd.cn/